ABM,Inc.光刻机基本需求情况采集表

采购目的:   
批量生产  实验研究 
小批量试流  其他

贵单位产品类型、名称或研发课题方向:

贵单位所需光刻机类型:
全自动光刻机（适合批量生产）
自动装卸基片手动对准光刻机（适合小批量试流）
手动装卸基片自动对准光刻机（适合小批量试流）
全手动光刻机（适合研发）

光刻类型：:   
单面光刻  双面光刻 
现阶段为单面光刻，以后可能升级为双面光刻

所需光刻基片的衬底材料：:   
硅基  化合物半导体 
玻璃  其他

所需光刻基片的最大尺寸：:   
2"  4"  6"  8" 
12"  其他

所需光刻的最细线宽：: 
10um  5-10um  1-5um 
亚微米（小于1um）  其他

所需光刻对准精度：: 
±1um 以上  ±0.5-1um 
不需要对准

贵单位光刻间厂房设施情况：: 
已具备  无

预计光刻机采购时间：

您是否对我司其他相关设备、配件及服务有兴趣：
设备：
匀胶机  热板  显影机 
键合机  解键机  工作台

配件：
Chuck   Mask Holder   紫外汞灯  
光强测量计   密封圈 汞灯电源 
真空泵  滤光片  反光镜

服务：
设备技术支持  设备售后服务 
产品工艺服务

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