截止到2012年1月,ABM公司在世界范围售出了500多台光刻机,50多台单独曝光系统。著名的客户包括美国航天局NASA和INTEL、哈佛大学、LG、美国海军实验室、菲利普、惠普、3M等,ABM在中国各地也拥有不同领域的客户,包括众多的工厂、知名大学和研究所等。
纳米压印功能:
ABM光刻机可集成纳米压印功能
模版的图案尺寸可在 20nm 以下
大至 150nm 的圆形或方形模版
模版材料:硅,石英,镍等
适用于各种纳米压印版式的模版
压印模版可以广泛应用于不同的领域(但不仅限于以下领域),例如:
可再生能源
微流体、纳流体
发光二极管和激光器
生命科学,如芯片实验室系统
光学、射频元器件
数据存储
半导体
应用实例: