掩模對準系統:
ABM Semi-auto Mask Aligner System with Split-Field Microscope Alignment
Model: ABM/6/350/NUV/ SFM/SA
ABM Semi-auto Mask Aligner System with Split-field Dual CCD Camera Alignment
Model: ABM/6/350/ NUV/DCCD/SA
ABM Semi-auto Mask Aligner System with Auto Alignment
Model: ABM/6/350/NUV/DCCD/SA-AA
ABM Large Area Semi-auto Mask Aligner System with Split-field Dual CCD Camera Alignment
Model: ABM /8/500/NUV/DCCD/SA
ABM Fully-auto Mask Aligner System with Split-field Dual CCD Camera Alignment
Model: ABM/6/500/ NUV/DCCD/FA
曝光系統:
ABM 6" x 6" Exposure System
ABM 8" x 8" Exposure System
ABM 6" x 6" Vacuum Contact Exposure System
ABM 6" x 6" Mask Replicator System
產 品
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產 品 應 用
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主 要 特 點
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光 強 測 試 儀 器 以 及 探 測 頭
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真 空 卡 盤 及 掩 模 板 板 架
附 件 、 備 品 、 消 耗 品
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掃 描 電 鏡 圖 實 例
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曝 光 工 藝 完 整 解 決 方 案
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銷 售 與 服 務
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