曝光系統:

ABM提供各式各樣的尺寸和配置為單獨的紫外線曝光系統,其中包括4英寸,6英寸以及8英寸的圓形或者方形的曝光光束,同時可以提供波長為近紫外,中紫外以及深紫外的紫外光線,同時提供功率為350瓦,500 瓦,1000瓦或者2000瓦的電源供應器。

ABM曝光系統提供以下的選擇專案:外置式快門計時器,標準型遮光罩,滑軌式真空載片台(支援2英寸,3英寸,4英寸,6英寸矽片),真空式掩範本支架(支援2英寸,2.5英寸, 3英寸,4英寸,5英寸,6英寸,7英寸掩範本)

滑軌式系統包括:

  • 基片真空 開/關
  • 接觸真空 開/關
  • 自動找水準
  • Z軸接近式的間隙設定(0-6mm)
  • 氮氣 開/關
  • 氮氣 水準調節
  • 氮氣和真空計
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