ABM提供各式各樣的尺寸和配置為單獨的紫外線曝光系統，其中包括4英寸，6英寸以及8英寸的圓形或者方形的曝光光束，同時可以提供波長為近紫外，中紫外以及深紫外的紫外光線，同時提供功率為350瓦，500 瓦，1000瓦或者2000瓦的電源供應器。
ABM曝光系統提供以下的選擇專案：外置式快門計時器，標準型遮光罩，滑軌式真空載片台（支援2英寸，3英寸，4英寸，6英寸矽片），真空式掩範本支架（支援2英寸，2.5英寸， 3英寸，4英寸，5英寸，6英寸，7英寸掩範本）
滑軌式系統包括:
- 基片真空 開/關
- 接觸真空 開/關
- 自動找水準
- Z軸接近式的間隙設定（0-6mm）
- 氮氣 開/關
- 氮氣 水準調節
- 氮氣和真空計
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