標準型固定水準式真空卡盤:

• 單晶片以及碎片模式卡盤
• 2英寸矽片或者相同尺寸基片的卡盤
• 3英寸矽片或者相同尺寸基片的卡盤
• 4英寸矽片或者相同尺寸基片的卡盤
• 6英寸矽片或者相同尺寸基片的卡盤
• 8英寸矽片或者相同尺寸基片的卡盤

可以根據客制化要求提供相應的真空卡盤

組合型固定水準式真空卡盤:

• 2英寸的卡盤可以相容使用單晶片模式，碎片模式以及2英寸矽片或者相同尺寸的基片
• 3英寸的卡盤可以相容使用碎片模式，2英寸以及3英寸矽片或者相同尺寸的基片
• 4英寸的卡盤可以相容使用2英寸，3英寸以及4英寸矽片或者相同尺寸的基片
• 6英寸的卡盤可以相容使用4英寸，5英寸以及6英寸矽片或者相同尺寸的基片
• 8英寸的卡盤可以相容使用6英寸以及8英寸矽片或者相同尺寸的基片

組合式真空卡盤表面設計有多重的真空管路，可以根據尺寸的要求，單獨開啟或關閉相應的真空管路來實現不同尺寸基片之間的切換

背面可視型真空卡盤:

• 雙孔式背面可視型真空卡盤的設計原理是在卡盤左右兩側各開一個尺寸為0.75-1英寸的照明通道，安裝有兩組可調節式同軸光纖光源照明器從左右照明通道進行照明，同時通過兩組CCD攝影機從左右照明通道進行取像成像，可以根據客戶要求提供尺寸為2 英寸至8英寸範圍的卡盤。 相關技術參數，在X軸方向，左右分離視場的最小間距為1英寸，在Y軸方向，可移動的範圍為+/-0.8英寸
  • 配備有兩組同軸光纖光源照明器
  • 配備有兩組X、Y、Z軸千分尺底座
  • 配備有兩組固定放大倍率顯微鏡
  • 配備有兩組兩倍放大配接器
  • 配備有2組1/4英寸電荷耦合攝像機
  • 配備有帶影像覆蓋功能的影像截取系統（包含硬體和軟體兩組系統）

  背面可視對準精度可達+/-1微米

背面紅外線型真空卡盤:

• 雙孔式背面紅外線型真空卡盤的設計原理是在卡盤左右兩側各開一個尺寸為0.75-1英寸的照明通道，安裝有兩組可調節式同軸紅外線發射光纖光源照明器從左右照明通道進行照明，同時通過兩組CCD攝影機從左右照明通道取像成像，可以根據客戶要求提供尺寸為2 英寸至8英寸範圍的卡盤，同時可以根據客戶不同的圖形要求提供雙孔式，四孔式，六孔式的定制卡盤，從多角度進行圖形確認。 相關技術參數，紅外線敏感度可調節範圍為0.8-1.2微米

  背面紅外對準精度可達+/-2至+/-3微米

客制化嵌入式真空卡盤:

• 標準型真空卡盤可以用於最高厚度為0.25英寸（6毫米）的矽片或相同尺寸的基片，如果客戶需要使用更厚的矽片或相同尺寸的基片，可以根據要求定制相應的嵌入式真空卡盤

前置真空式掩範本板架尺寸（帶有圓形或者方形開口，可供選擇）:

2英寸、2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、7英寸、9英寸

背置真空式掩範本板架尺寸（帶有圓形或者方形開口，可供選擇）:

2英寸、2.5英寸、3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、7英寸

前置以及背置真空式掩範本板架可以適用于相應的掩範本尺寸，但是對掩範本厚度有相應的要求，僅支援標準厚度：0.060英寸、0.090英寸以及0.120英寸

可以根據客戶要求定制掩範本板架

所有的的掩範本板架都包含定位銷以方便固定掩範本，同時保證重新放置同一掩範本時位置的精確性和可重複性。