附件、備品、消耗品:
  • ABM高效能的近紫外、深紫外汞燈
  • 近紫外、深紫外汞燈的散熱片
  • 陽極電極線
  • 曝光系統冷卻風扇
  • 拋物面鏡
  • 深紫外、中紫外、近紫外的絕緣鍍層石英鏡組
  • 近紫外、深紫外光線的遮光罩
  • 同軸光源照明燈、環形光源照明燈
  • 黃色濾光片
  • 真空卡盤密封圈
  • 定位銷
  • 流量計、扳鈕開關、按鈕、互鎖閥門
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